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10 · 混合键合示意结构图

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【推荐】没有凸点的互连
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通过这张图可以看到,混合键合不是简单把两片芯片贴在一起,而是把介质贴合、铜铜互连、对准、减薄、再布线和检测放进同一条结构路径里。理解它的关键,是看懂“先形成平整界面,再建立短距离导通”这件事。
作者:好用工具推荐
互动评论(10 条)
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混合键合里,介质键合界面主要承担什么结构作用?
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混合键合为什么能减少传统凸点互连的间距限制?
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混合键合对表面平整度和洁净度有什么要求?
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混合键合中的铜铜直连会影响哪些电气路径?
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混合键合在芯粒堆叠里最容易遇到什么可靠性挑战?
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混合键合与微凸点互连相比,主要取舍在哪里?
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混合键合为什么需要高精度对准设备?
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混合键合的退火步骤会怎样影响界面连接质量?
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混合键合适合哪些高密度封装场景?
10
混合键合的成本瓶颈更可能出现在工艺、设备还是检测环节?
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